Córdoba Erazo, María Fernanda; Coy Díaz, Horacio
(Universidad del Cauca, 2005)
En este trabajo se fabricaron películas delgadas de VO2, sobre sustratos de Si(100) y vidrio, en una atmósfera de Argón, utilizando un target (blanco) de vanadio metálico , mediante la técnica de Magnetrón Sputtering R.F. ...