Propuesta de automatización del proceso de crecimiento multicapa de películas delgadas para un Sputtering de 3 blancos

Abstract

Este trabajo se enfoca principalmente en la elaboración de una propuesta de automatización del equipo Sputtering de tres (3) blancos del laboratorio FISBATEM (en principio mecánico y sin funcionar) y la realización de una propuesta de documentación técnica de la información y procesos necesarios para la creación de películas delgadas multicapa. Adicional a esto, se realizó todo un trabajo de reparación, mantenimiento y adecuación del sistema, con el fin de ponerlo en funcionamiento. Para dar cumplimiento a este proyecto se realiza el modelamiento del proceso industrial de crecimiento de películas delgadas multicapa en el equipo Sputtering de tres (3) blancos de la universidad del Cauca, Comenzando con el análisis y obtención de un conocimiento global de planta y proceso, donde se incluye la determinación de los objetivos del sistema, su funcionamiento, su estructura y su potencial. Obteniendo de esta manera una visión general del proceso. Mediante el diseño del sistema de automatización se identifican las variables que manejan el proceso y con sus modelos desarrollados se definen los requerimientos de automatización, se selecciona el controlador y los dispositivos de campo, para proponer un sistema de automatización. Por último se realiza una prueba crecimiento multicapa de películas delgadas en el equipo Sputtering de tres (3) blancos de la universidad del Cauca.