Urrutia Palacios, Jhon Alexander
(Universidad del Cauca, 2008)
En este trabajo se fabricaron películas delgadas de Nitruro de Vanadio (VN), utilizando un sistema Magnetron Sputtering R.F. a 13.56 MHz. Las películas se depositaron sobre sustratos de silicio (100) y acero M2. Se fabricaron ...