Castillo Castillo, Eduardo; Gómez Pérez, Oscar Daniel
(Universidad del Cauca, 2012-05)
Para el desarrollo de este trabajo se realizó el análisis del Proceso de Fabricación de Películas Delgadas de VO2 sobre silicio (100) por Magnetrón Sputtering RF en FISBATEM y recurriendo a la ingeniería conceptual se ...