Repositorio Universidad del Cauca

Diseño e implementación de un proceso de fabricación de micro dispositivos con la técnica de fotolitografía a partir de películas delgadas

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dc.contributor.author Realpe, Jhon Jairo
dc.date.accessioned 2022-05-23T20:22:54Z
dc.date.available 2022-05-23T20:22:54Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.uri http://repositorio.unicauca.edu.co:8080/xmlui/handle/123456789/4004
dc.description.abstract Con el fin de fortalecer las líneas de investigación de FISBATEM, fomentar la investigación en el campo de la microelectrónica, microsistemas y nuevos materiales y apoyar los trabajos de investigación que se desarrollan a nivel de pregrado y maestría, en este trabajo de grado se diseñará, implementará y verificará un proceso de fabricación de microdispositivos con la técnica de fotolitografía a partir de películas delgadas. En el presente documento se detallan los resultados de este proceso y se ha estructurado de la siguiente manera: En el capítulo 1 se hace un estudio del estado del arte respecto a la técnica de fotolitografía considerando su origen, las generalidades del proceso de fabricación, los desafíos y limitaciones actuales de la técnica, el estudio de algunas técnicas de próxima generación y las perspectivas a futuro de acuerdo a un ecosistema tecnológico, planteado por las principales empresas de fabricación de semiconductores. En el capítulo 2 se desarrolla el diseño e implementación del sistema de fabricación siguiendo la metodología de diseño y desarrollo de productos con la cual se determinarán la materia prima, los módulos de equipo con sus especificaciones técnicas y funcionales y su integración en el sistema de fabricación. En el capítulo 3 se obtendrán las etapas del proceso de fabricación adecuando el proceso estándar de fotolitografía a las condiciones del laboratorio FISBATEM, el sistema de fabricación implementado y la materia prima. A partir de estos resultados se modelará dicho proceso con la parte 1 de la norma ISA S88 de la cual se obtendrán los modelos de proceso, físico y de control procedimental, lo que posibilitará la calidad de los microdispositivos fabricados y repetibilidad del proceso de fabricación. En el capítulo 4 se fabricarán microdispositivos a partir de películas delgadas de cobre aplicando la norma ISA S88. Posteriormente se caracterizan con microscopía óptica para determinar la calidad de los microdispositivos y la repetibilidad del proceso de fabricación. Finalmente se presentan las conclusiones, recomendaciones y los anexos correspondientes a cada capítulo. spa
dc.language.iso spa
dc.publisher Universidad del Cauca spa
dc.rights.uri https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
dc.subject Fotolitografía spa
dc.subject Fabricación spa
dc.subject Microdispositivos spa
dc.subject Películas delgadas spa
dc.subject Diseñar spa
dc.subject Implementar spa
dc.subject Verificar spa
dc.title Diseño e implementación de un proceso de fabricación de micro dispositivos con la técnica de fotolitografía a partir de películas delgadas spa
dc.type Tesis maestría spa
dc.rights.creativecommons https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
dc.type.driver info:eu-repo/semantics/masterThesis
dc.type.coar http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
dc.publisher.faculty Facultad de Ciencias Naturales, Exactas y de la Educación spa
dc.publisher.program Maestría en Ingeniería Física spa
dc.rights.accessrights info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.type.version info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.identifier.instname
dc.identifier.reponame
oaire.accessrights http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
dc.identifier.repourl
oaire.version http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa


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