Resumen:
Este trabajo se enfoca principalmente en la elaboración de una propuesta de automatización
del equipo Sputtering de tres (3) blancos del laboratorio FISBATEM (en principio
mecánico y sin funcionar) y la realización de una propuesta de documentación técnica de la
información y procesos necesarios para la creación de películas delgadas multicapa.
Adicional a esto, se realizó todo un trabajo de reparación, mantenimiento y adecuación del
sistema, con el fin de ponerlo en funcionamiento.
Para dar cumplimiento a este proyecto se realiza el modelamiento del proceso industrial de
crecimiento de películas delgadas multicapa en el equipo Sputtering de tres (3) blancos de
la universidad del Cauca, Comenzando con el análisis y obtención de un conocimiento
global de planta y proceso, donde se incluye la determinación de los objetivos del sistema,
su funcionamiento, su estructura y su potencial. Obteniendo de esta manera una visión
general del proceso.
Mediante el diseño del sistema de automatización se identifican las variables que manejan
el proceso y con sus modelos desarrollados se definen los requerimientos de
automatización, se selecciona el controlador y los dispositivos de campo, para proponer un
sistema de automatización. Por último se realiza una prueba crecimiento multicapa de
películas delgadas en el equipo Sputtering de tres (3) blancos de la universidad del Cauca.
