Efecto de la temperatura del sustrato sobre las propiedades eléctricas de películas delgadas de dióxido de vanadio (VO2) crecidas por Magnetron Sputtering RF

dc.contributor.author	Arias García, Janier
dc.contributor.author	Garcés Quijano, Jaime Antonio
dc.date.accessioned	2023-04-27T20:58:43Z
dc.date.available	2023-04-27T20:58:43Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.uri	http://repositorio.unicauca.edu.co:8080/xmlui/handle/123456789/6940
dc.language.iso	es	en_US
dc.publisher	Universidad del Cauca	en_US
dc.subject	Dióxido de vanadio	en_US
dc.subject	Películas delgadas	en_US
dc.subject	Sputtering	en_US
dc.subject	Magnetrón Sputtering RF	en_US
dc.subject	Temperatura	en_US
dc.title	Efecto de la temperatura del sustrato sobre las propiedades eléctricas de películas delgadas de dióxido de vanadio (VO2) crecidas por Magnetron Sputtering RF	en_US
dc.type	Trabajos de grado	en_US