Resumen:
En este trabajo de grado, se elaboraron recubrimientos compuestos nanoestructurados del sistema Ti(C, N) empleando un blanco binario de titanio/grafito en un equipo de pulverización catódica asistido con campo magnético y un plasma reactivo de N2. Igualmente, se estudiaron los efectos que tienen los parámetros de crecimiento sobre las propiedades, calidad, y desempeño de los recubrimientos duros; para ello, se variaron la potencia de ignición para el plasma, la temperatura del sustrato y el flujo de gases de argón y nitrógeno.
Inicialmente, se analizó la composición química y estructural de los recubrimientos compuestos aquí producidos, para ello, se empleó la técnica de difracción de rayos X, para determinar la orientación preferencial; la espectroscopía Raman, para determinar el comportamiento de la concentración de los enlaces sp3 y sp2 y la espectroscopía de energía dispersiva, para evaluar el porcentaje de los elementos más relevantes.
Para evaluar la morfología de los recubrimientos compuestos de TiCN, se empleó microscopía de fuerza atómica, y gracias a esta, se pudo determinar el tamaño de grano y la rugosidad de las capas.
Finalmente, se estudiaron las propiedades mecánicas y tribológicas de los recubrimientos y se midió su dureza, módulo de elasticidad, coeficiente de fricción y coeficiente de desgaste; igualmente se comparó el desempeño tribológico y mecánico de los recubrimientos con los diferentes parámetros de crecimiento.
