Efecto del ataque con una solución CP8 (mezcla de ácido nítrico, ácido acético y ácido fluorhídrico 26:4:5) en la formación de silicio policristalino poroso

Abstract

Con esta investigación se pretendió determinar el efecto de tratar previamente la superficie del silicio policristalino con una solución que permitiera eliminar los defectos superficiales del mismo, para este fin se utilizó una mezcla de ácido nítrico, ácido acético y ácido fluorhídrico en proporciones 26:5:4, la cual es conocida en la industria como CP8. Las superficies porosas obtenidas sobre material policristalino con y sin tratamiento con solución CP8 se caracterizaron morfológicamente por microscopía óptica, microscopía electrónica de barrido (SEM) y microscopía de fuerza atómica (AFM). Se encontró que la rugosidad de la superficie disminuyó considerablemente cuando fue pretratada con CP8. Además del análisis morfológico se estudiaron los estados de superficie activos en el infrarrojo de las diferentes muestras, por medio de la espectroscopia infrarroja con transformada rápida de Fourier (FTIR). Este estudio reveló un incremento de los grupos funcionales SiH y SiH2 y la aparición del grupo OxSiHy en las muestras porosas.